Module Builder——Gem300之E40 ProcessJob模块

E40 ProcessJob工艺作业简称PJ是SEMI E40Processing Management标准定义的核心对象专门用于规范设备对物料晶圆/基板执行具体工艺加工的全生命周期管理。它是GEM300体系中真正“干活”的执行单元通常与E94 ControlJob 调度单元配合使用构成300mm晶圆厂自动化的作业控制底座。核心定位与价值标准化工艺执行定义对哪些物料PRMtlNameList、用哪个配方RecID、按什么顺序、在什么资源上加工的标准通信模型消除私有接口导致的误处理风险。精细化状态追踪为每一批或每一片物料的加工过程建立独立的状态机Host可实时掌握排队、准备、加工、暂停、中止等全阶段进度。与调度解耦PJ只关注“怎么加工”不关心“先加工谁”多PJ的编排、调度、协同由上层E94 ControlJob负责职责清晰。核心概念与对象关系Process JobPJ由Host工艺主管创建的动态对象绑定物料列表PRMtlNameList配方RecID加工资源一旦物料到达即自动或由命令触发执行无需Host再干预。与ControlJob的关系1个E94CJ包含1~n个E40PJ。CJ负责选中和启动PJ负责实际工艺PJ是CJ的执行载体。与E87/E90的协同PJ的物料来源于E87管理的Load Port/FOUP加工过程中单片晶圆的位置由E90 Substrate Tracking实时追踪。关键状态机LifecycleE40定义了PJ从创建到销毁的完整状态流转Harel状态图核心状态如下QUEUED/POOLEDPJ已创建在队列中等待资源分配或被选中。SETTING_UP资源预处理阶段如加载配方、腔室预热、预留硬件资源。WAITING_FOR_START准备完成等待显式启动命令若PRProcessStartfalse。PROCESSING物料就绪且配方加载完成正在执行核心加工如刻蚀、沉积、光刻。PAUSING→PAUSED收到暂停指令过渡到安全中断点挂起可恢复或中止。STOPPING收到有序停止指令在安全检查点平滑停止。ABORTING收到紧急中止指令立即终止并进入错误恢复。PROCESS_COMPLETE所有物料加工完成执行后处理如腔室冷却、清理。COMPLETE/ABORTED/STOPPED/CANCELLEDPJ终结从设备内存中移除并上报最终结果。所有状态转换都必须通过S6F11Event Report上报对应的CEID确保Host端状态同步。典型应用流程1.创建PJHost通过PRJobCreateS7F1下发PJ定义物料、配方、参数。2.入队/选中设备接受后进入QUEUED若绑定到CJ由CJ选中后转入SETTING_UP。3.准备加载配方、预热腔室若需手动启动则停在WAITING_FOR_START收到PRJobStart后进入PROCESSING。4.加工执行实际工艺执行期间可响应Pause/Stop/Abort命令。5.完成加工结束执行后处理上报PROCESS_COMPLETEPJ销毁并通知Host。Module Builder中的ProcessJob模块主要是展示ProcessJob Service相关的事件和数据并支持用户对其进行ID修改。同时还支持对ProcessJob Service相关的配置项进行修改。ProcessJob Service相关配置项如下maximumProcessJobs同一个CJob同时最多能管理多少个PJob可以用于验证当前是否有 ProcessJob 空间防止ProcessJob 数量超过系统上限。completedRelease它决定了筛选 Wafer 进释放列表的门槛是高还是低。verifyJobMaterial用来控制在 CompleteJobSetup阶段Job 设置完成准备进入 Processing / Waiting 状态是否对 Process Job 的物料类型和物料清单进行合法性校验开启时会调用 VerifyMaterial一旦失败立即中止 Job 并抛出异常防止非法物料进入后续工艺流程。multipleActiveProcessJobsAllowed用于控制同一 Equipment / Process 下是否允许同时存在多个处于“活跃状态”的 Process Job。