Leybold 400110V0023 涡轮分子泵

Leybold 400110V0023 涡轮分子泵对应型号 TURBOVAC MAG W 1300 C是 Leybold 旗下 MAG 系列磁悬浮涡轮分子泵的一员。该泵采用五轴主动式磁悬浮轴承技术可实现无接触、无摩擦运行专为半导体及高端工业领域中对清洁高真空有严苛要求的工艺而设计。一、产品应用领域10条半导体刻蚀工艺半导体化学气相沉积CVD半导体物理气相沉积PVD半导体离子注入工艺工业镀膜系统平板显示器FPD制造粒子加速器科研与实验研究分析仪器质谱仪、电子显微镜等真空冶金与材料处理二、核心产品参数5条产品型号TURBOVAC MAG W 1300 C料号 400110V0023进气口法兰ISO250 ISO-F排气口法兰DN40 KF抽速N₂约 1300 L/s极限压力1×10⁻⁸ mbar结尾综上所述Leybold 400110V0023TURBOVAC MAG W 1300 C作为 MAG 系列磁悬浮分子泵的代表型号凭借其无油洁净真空、高抽速和低维护特性为半导体、镀膜及科研领域提供了可靠的高真空解决方案。